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汽相超声波清洗器构成和硅片超声波清洗器

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要提高超声波清洗器的功率怎么做?这个是很多企业都想知道的,这要看已有的功率发生器电路是什么形式的,是不是有小改造的余地,比如:发现有将近失效的器件,特别是电解电容器,更换试试。用降压变压器的,加高次级电压试试等等。最主要的挖潜途经是重调一下输出匹配。因为目前的超声清洗几乎都是采用串联谐振的工作方式。汽相超声波清洗机就是气相机,一般气相机槽位分为三槽到5槽。

在三槽式清洗机基础上增加一级超声波清洗。

下面介绍下硅片超声波清洗器在半导体材料的制备过程中,每一道工序都涉及到清洗,而且清洗的好坏直接影响下一道工序,甚至影响器件的成品率和可靠性。因此,硅片的清洗引起了专业人士的重视。以前很多厂家都用手洗的方法,这种方法人为的因素较多,一方面容易产生碎片,经济效益下降,另一方面手洗的硅片表面洁净度差,污染严重,使下道工序化抛腐蚀过程中的合格率较低。同时,由于磨料中的金刚砂粒径较大,造成磨片后的硅片破损层较大,悬挂键数目增多,极易吸附各种杂质,如颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格。

1.清洗氧化皮

c. 超声波(1.5KW 316L)

2. 冷水漂洗

a. 水(室温)

b. 超声波

3. 防锈液漂洗

a. 防锈液TY-P748,5% 水(95%)

b. 超声波

4. 干燥

5. 防锈油侵泡1-2分钟

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